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光电产业

半导体业,特别是晶圆代工,全球市场极大,但事实上,全球光电产业的发展速度在迈入21世纪后,便快速成长。在2004年产值首度追上晶圆代工业,2008年正式超越晶圆代工产业。也就是说,上世纪是半导体的世纪,但21世纪,将会是光电产业的时代。

光电产业制品

目前光电产业的制品甚为广泛,包括:LED照明与组件、太阳能硅晶材料、TFT-LCD面板、触控面板、LCD组件材料、太阳电池及精密光学组件与镜头。

  • LED照明与组件
  • 太阳能硅晶材料
  • TFT-LCD面板
  • 触控面板
  • LCD组件材料
  • 太阳电池及精密光学组件

光电组件的生产过程中检测的质量极为重要,除了要有高可靠性的要求之外,还需要有较好的材料与较好的工艺控制,通过失效分析的检测后,将能更有效的控制材料和生产质量。一般来说,光电材料经失效分析检测常有漏电等异常现像,其中大部分原因可能是来自于芯片内部结构缺陷。在现有分析技术下,受限于扫描式电子显微镜(SEM)分辨率较低的关系,检测方法只能透射电子显微镜(TEM)来观察其平面缺陷结构。苏试宜特材料分析实验室利用TEM的影像搭配双束聚集离子束(FIB)的精准标示定位缺陷,能轻易的解析纳米级缺陷在芯片中的横向和纵向延伸形貌,并采用平面结构样品转横截面之特定微小区域标定技术,可在TEM中直观且精确定位到缺陷走向和缺陷源头位置,通过本实验室的分析结果,将有助于光电组件的微结构和失效分析并解决工艺开发中所遇到的问题,帮助光电产业与相关器件产品的实现成本与产能的最高效益

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应用原理

失效分析定位到热点,对热点处进行TEM平面结构观察,可看到缺陷在光电材料中的横向分布,对缺陷处进行转截面样品的制备,可进一步观察缺陷的纵深形貌,从而达到利用TEM观察芯片内缺陷三维形貌的效果,并找出失效原因。

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