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晶圆材料分析

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晶圆材料分析

先进制程检测 重要解决方案!!
微观尺寸的材料成份、特性与结构往往主宰着巨观世界里的物质特性,因此在新技术开发阶段或是失效分析领域中材料分析皆扮演着重要的地位。

应用领域

芯片 产业、LED 产业、面板产业、TFT-LCD 产业、太阳能电池产业、奈米材料研究等。

分析能力达5奈米
联合诊断服务
先进设备齐备

服务项目

样品前处理
双束聚焦离子束(Dual beam FIB)
结构观察
扫描式电子显微镜 (SEM)
穿透式电子显微镜 (TEM)
双束聚焦离子束(Dual beam FIB)
成份分析
扫描式电子显微镜 (SEM)
穿透式电子显微镜 (TEM)

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