“ 未知污染物尺寸过小，该如何抓出异常物质呢?

       随着产品越来越进步，对于污染缺陷点的分析要求也越来越严苛。对于表面污染缺陷，该如何选择到位的分析方式呢?宜特在先前小学堂探讨过，一般而言，若待分析污染物属于有机物范畴，我们会选择傅立叶变换红外线光谱仪(下称FTIR)；然而当该污染缺陷点，尺寸小于30μm，对于FTIR分析取样结果的有效性和成功率会大大降低，此时以激光作为分析光源的拉曼光谱仪(Raman spectrometer)，就成了非常好的替代分析工具。

      拉曼光谱仪(下称拉曼Raman)与FTIR，有个共同特色，都属于「非破坏性材质分析」，分析样品也几乎不需要特别的前置处理。拉曼Raman比FTIR分析的光谱范围更广，不仅可用于有机物分析、在无机化合物分析能力也更胜FTIR；加上不受水的影响且可穿透玻璃、石英等材质进行分析，所以拉曼对于小尺寸的异物分析在应用上更为多元。

      本月小学堂，将和您分享拉曼Raman，它是一种在不破坏样品前提下，解析有机、无机化合物，甚至污染物size小于30μm都逃不过它法眼的利器。

一、拉曼Raman只能做为红外线光谱FTIR的Backup ? 

      拉曼光谱以激光作为分析光源，除了拥有优异的空间分辨率之外，不受水分影响的特色，使得样品可以直接在水中进行分析。另一个优势是，激光可以穿透透光容器，对内容物进行分析并获得光谱信息，这些都是FTIR红外线光谱仪无法做到的。

二、拉曼Raman在半导体产业应用时机? 

      在半导体产业而言，拉曼Raman在产品的研发初期和生产制造，均扮演重要角色。此时期，可能会有一些异物产生在晶圆或光罩上，要探究其来自于哪一道制程所产生的；甚至是到最后封装测试组装才发现可能在制作RDL、UBM等制程有氧化或污染造成电性的异常、阻值偏高(或开路)、短路或漏电等现象，这些异常污染造成的缺陷若是尺寸大于1um，都可以仰赖拉曼光谱仪来进行检测。

三、除了半导体，拉曼Raman还可应用在哪些产业?

      此外，拉曼Raman的应用也涵盖许多项目包括: 颜料分析(Analysis of pigments)、细胞研究(Cell Research)、疾病侦测(Disease Detection)、药物(Drug)、化妆品(Cosmetics)、石墨烯(Graphene)、奈米碳管(CNT)、多层膜(Laminated Film)、高分子薄膜(Polymer thin films)、聚合物涂层(Polymeric coatings)、地质材料研究(Geological materials analysis等。

四、拉曼Raman光谱与红外线光谱都是材质分析工具，那他们有甚么差别呢?

      材质分析需求主要分为元素与化合物两种，而化合物分析中常使用的就是红外线光谱仪了。商用红外线光谱仪，多属中红外范围的傅立叶变换红外线光谱仪(FTIR)，着重在有机化合物的快速定性分析。而拉曼Raman光谱多为色散型，可依样品种类挑选合适的激光光源，即可一次获得较广范围的光谱，涵盖有机与无机化合物范围。