穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像，影像分辨率可达0.1奈米的原子等级，用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。
CHINAISTI 苏试宜特能为您做什么？
可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析；搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能，更能得到原子尺度结构与成份信息，解决制程上各种难题。
苏试宜特服务优势
案例分享
LED磊晶各層结构
LED量子井觀察與量測
3D DRAM結構分析
3D DRAM EDS mapping分析
28奈米HKMG晶体管TEM影像
28奈米HKMG晶体管EDS mapping
先进制程FINFET影像:高倍率原子影像與STEM明場像與暗場像
设备能量
FEI Talos-F200X
JEOL JEM-2100F
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