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晶圆材料分析

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光谱能量分析仪

EDS(能量散射光谱仪(Energy Dispersive Spectrometer))或称 EDX (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy,能量色散X射线光谱仪)。主要利用电子束撞击在样品上所激发的特性 X光来进行待测样品的定性或半定量化学成份分析。
EDX通常与SEM (扫描电子显微镜),TEM (透射电子显微镜)和STEM (扫描透射电子显微镜)等影像分析工具搭配使用的分析技术。当EDX和这些影像工具结合到一起时,可以提供直径小至nm的区域进行元素分析。电子束对样品的撞击会产生样品元素的特性X-射线, EDX分析可用于确定单点的元素成份,或者绘制出二维或三维的成像区域元素的成份分布或称映图(Mapping),或者一维成份分布(线扫描,EDS Line-scanning)。

TEM TALOS EDS 除了快速、精确且量化的 EDS 分析可揭示纳米级细节外且有更短的化学成分数据生成时间。

光譜能量分析儀偵測器規格(EDS Super-X detector)


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•Super-X EDS 系统采用对称设计的 4 个 SDD,无窗、受快门保护

•EDX 立体角0.9 srad

•快速 EDS 测绘像素驻留时间短至 10 ms

•105 spectra/sec扫描能力

•出色的灵敏度

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