What are you looking for?

02

晶圆材料分析

首页>服务项目>穿透式电子显微镜 (TEM)

穿透式电子显微镜 (TEM)

穿透式电子显微镜(Transmission Electron microscopy, TEM)主要是一种使用高能量电子束让超薄的样品成像,影像分辨率可达0.1奈米的原子等级,用以观察材料微结构或晶格缺陷的分析仪器。

CHINAISTI 苏试宜特能为您做什么?

可针对材料之显微结构、晶格缺陷(Dislocation)、化学成分进行分析;搭配上EDS、HAADF(ZC)、应力分析等功能,更能得到原子尺度结构与成份信息,解决制程上各种难题。

应用领域

半导体产业 LED产业 光电产业 微机电(MEMS)产业

苏试宜特服务优势

1
领先市场的TEM分析能力:已达5奈米制程节点
2
快速交期:三班制24小时运作
3
FEI、JEOL等高阶设备,供您选择
4
样品制备能量:二台业界高阶FEI Helios 660 Dual-beam FIB设备與一台FEI Helios 460 Dual-beam FIB,搭配消除试片损伤层(离子束能量可低至500 eV)的技术,将协助您取得高质量TEM影像。

案例分享

  • 缺陷PV-TEM 转XS-TEM延伸分布分析
  • LED磊晶结构分析
  • 3D DRAM分析
  • 高解析TEM/EDS分析
  • 高解析TEM影像分析
  • LED磊晶各層结构

  • LED量子井觀察與量測

  • 3D DRAM結構分析

  • 3D DRAM EDS mapping分析

  • 28奈米HKMG晶体管TEM影像

  • 28奈米HKMG晶体管EDS mapping

  • 先进制程FINFET影像:高倍率原子影像與STEM明場像與暗場像

  • 应用范围
  • 设备描述
显微结构分析(晶格影像)
结晶缺陷、晶格缺陷(dislocation)分析
元素成分分析
电子绕射图分析
杂质及污染源分析

设备能量

FEI Talos-F200X

图片3.png

1595925514709978.png

JEOL JEM-2100F

图片4.png

未标题-1_06.png

联络窗口

中国免费咨询电话 : 800-988-0501    Email: marketing_cn@chinaisti.com


留言咨询

请提出您的需求或问题,我们收到后会尽快给到您回复