超声波显微镜(SAT),原理是藉由超声波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性,来进行分析。利用纯水当介质传递超声波信号,当信号遇到不同材料的接口时,会部分反射、部分穿透,机台就会接收这些信号组成影像。
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SAT超声波可用来检测芯片组件内部不同位置的脱层(Delaminaiton)、裂缝(Crack)、气洞及粘着状况,多用于检查芯片封胶内的缺陷。
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