激光束电阻异常侦测 (OBIRCH)

激光束电阻异常侦测(Optical Beam Induced Resistance Change，以下简称OBIRCH)，以镭射光在芯片表面(正面或背面) 进行扫描，在芯片功能测试期间，OBIRCH 利用镭射扫描芯片内部连接位置，并产生温度梯度，藉此产生阻值变化，并经由阻值变化的比对，定位出芯片Hot Spot(亮点、热点)缺陷位置。

CHINAiSTI 苏试宜特能为您做什么？

OBIRCH常用于芯片内部电阻异常(高阻抗/低阻抗)、及电路漏电路径分析。可快速对电路中缺陷定位，如金属线中的空洞、通孔(via)下的空洞，通孔底部高电阻区等，也能有效的检测短路或漏电。

苏试宜特服务优势

苏试宜特建置Double side Probe station，可进行Backside Probe免去COB样品制备的时间，节省样品制备的时间与成本。

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